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準力晶陶加工機線軌磨滑塊磨五軸銑磨機
產地:新加坡
品牌:其他
編碼:JL-20205X
價格:88.00 元
生產企業(yè):臺灣準力精密機械制造廠
晶陶加工機的開發(fā)構想是利用立式磨床加工原理,將鑽石砂輪固定於氣浮式主軸,針對表面精度及平面度要求極高的硬脆材料,進行立式磨削加工。半導體製程中最明顯的例子就是晶圓背磨製程,它決定著晶片級封裝和系統級封裝中的最小可能封裝尺寸。 一般晶圓背磨製程所要求的高平坦度與表面粗糙度,唯有氣浮式主軸搭配鑽石砂輪加工吸附於氣浮式工作臺上的晶圓才能達成。
型號 20205X
加工能力  
工作臺面積 (最大工件尺寸) (WxL)(mm) ψ200 (X200L)
X軸行程 (左右 ) (mm) 588
Y軸行程 (前後 )(mm) 283.5
主軸鼻端至工作臺面最大距離(mm) 430
X左右進給  
工作臺移動速度(m/min) 30
前後進給  
移動速度(mm/min) 30
最小設定單位(mm) 0.001
Z 上下進給  
移動速度(mm/min) 30
Z軸行程 (上下)(mm) 600
主軸  
主軸轉速 (rpm) 24000
主軸刀把規(guī)格 HSK-E40
B 軸  
B 軸旋轉角度  (+30 °~-110 °)
C 軸  
C 軸旋轉角度 0°~360
最小角度單位 0.001 °
刀具  
最大刀長(mm) 150
馬達  
主軸內藏式馬達 (kw) 4.5
左右伺服馬達 (X軸) (kw) 1.5
升降伺服馬達 (Z軸) (kw) 3.5
前後伺服馬達 (Y軸) (kw) 1.5
噪音值  
噪音值 dB(A) 78 以下
重 量  
機器重量(Kgs) 3500
機臺作業(yè)空間(長×寬x高)(mm) 2700X2000X2150
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