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日本芝浦機(jī)床UVM系列納米加工機(jī)——以及氣浮主軸原理
2025-06-07 09:15:25

最近日本芝浦機(jī)機(jī)床的超精密加工中心UVM系列,使用5軸控制系統(tǒng)的UVM-450D(5AH)5月23日宣布開始發(fā)售。

 該機(jī)標(biāo)配了自主研發(fā)的HSK接口的氣浮主軸,主軸轉(zhuǎn)速60,000Rpm/Min .主要應(yīng)用于加工精密光學(xué)模具、精密零件和微細(xì)模具等。

工作臺直徑200mm、包含夾具在內(nèi)的最大可承載重量為15kg。

旋轉(zhuǎn)軸最小設(shè)定單位為0.00001度,直線軸通過最小脈沖步距為0.01μm的線性電機(jī)驅(qū)動相結(jié)合,能夠高精度地進(jìn)行定位。

最小檢測單位為0.0005μm。  


1.氣浮主軸 

氣浮主軸是一種利用壓縮氣體形成的薄層氣墊,來隔絕與固件之間的直接接觸,類似于磁懸浮列車軌道和車身下部的非接觸關(guān)系。從而實(shí)現(xiàn)沒有摩擦狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的新型主軸。 

 靠外部供給的壓縮空氣使軸心浮起狀態(tài),在此狀態(tài)時(shí)摩擦系數(shù)為0,實(shí)現(xiàn)精密控制。 

   在空氣軸承電主軸高速運(yùn)行過程中電機(jī)與兩端的空氣軸承都會產(chǎn)生大量的損耗,成為電主軸系統(tǒng)的發(fā)熱源, 因此電主軸系統(tǒng)的主要熱源包括:定子、繞組、轉(zhuǎn)子,以及兩端支撐的空氣軸承。 

所以在對空氣處理的時(shí)候是無水化,這個(gè)是為了空氣軸承部件的壽命和精度考慮。

通過空壓機(jī)制造壓縮空氣并儲蓄、再進(jìn)行烘干機(jī)烘干、過濾器過濾空氣雜質(zhì),最終進(jìn)入氣浮主軸軸承 。

還有一個(gè)就是對主軸進(jìn)行冷卻油冷卻,一般控制在18-20度。

以達(dá)到控制前文提到的高速運(yùn)轉(zhuǎn)下的軸承熱和電機(jī)熱量。 

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 2.應(yīng)用領(lǐng)域 

在銑削領(lǐng)域,4萬到6萬轉(zhuǎn)的空氣軸承主軸在半導(dǎo)體行業(yè)的鉆孔加工應(yīng)用較多,主要是使用瑞士的PCB鉆頭對SIC這類硬脆材料進(jìn)行加工。 

在車削領(lǐng)域,主要用在單點(diǎn)金剛石車床中,是超精密光學(xué)元件加工的核心支撐單元。

廣泛應(yīng)用于各類光學(xué)領(lǐng)域及自由曲面光學(xué)元件的批量化生產(chǎn).


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