一、 IBF 700型離子束拋光機
技術(shù)數(shù)據(jù):
工作范圍:?70mm–?700mm
?2.75 英寸 –?27.5 英寸
厚度:200 毫米(8 英寸)
重量:最大。 100 公斤(45 磅)
接觸角:最大。 63°
形狀:凹、凸、平面
球面、非球面、自由曲面
負載鎖定系統(tǒng):適用于兩個基板,繼續(xù)工藝
軸數(shù):
類型:700-3 X,Y,Z
類型:700-5 X,Y,Z,A,B
行程:X > 700mm
Y > 700mm
Z = 400mm
A ± 50°
B ± 50°
方面:
重量:5950 公斤(13091 磅)
尺寸:(wxhxd)4,65m x 5m x 2,75m
(183 x 197 x 108 英寸)
占地面積:6m x 6m
236 x 236 英寸
電源供應(yīng):
電源要求:伏特。 400V – 3 相 +N+PE
電源要求:頻率 50-60 Hz
每相最大電流:32A
電源要求:最大。 22 千瓦/平均 9 千瓦
運轉(zhuǎn)供應(yīng):
氮:
壓力:1..3 bar g (15..45 psi)
純度:99,99 %
氬氣:
壓力:0.7 .. 1bar g (10.5..15 psi)
純度:分鐘。 99.9990%(5.0)
壓縮的空氣:
壓力:4..10 bar g (60..150 psi)
質(zhì)量等級符合 ISO 8573-1 2 4 1
冷卻水壓力:5 .. 6 bar g (60 .. 90 psi)
冷卻水溫度:20°C (68°F)
冷卻水溫度穩(wěn)定:+/- 0.5°C
真空泵排氣管 DN 63
咨詢電話:135 2207 9385
二、 IBF-1000R型離子束拋光機
IBF-1000R 專為納米精確校正矩形光學(xué)表面高達1000 x 1000 毫米。 該機配備高速泵送系統(tǒng)以最小化負載和卸貨時間。
技術(shù)數(shù)據(jù)
工件數(shù)據(jù)
尺寸:1000 毫米 x 1000 毫米
(39.3 英寸 x 39.3 英寸)
厚度:200 毫米(8 英寸)
重量:最大。 350 公斤(771 磅)
接觸角:最大63°
形狀: 平面、球面、非球面、自由形狀
高速泵送系統(tǒng)
無負載鎖定,但有高速泵送系統(tǒng)
軸系
類型:1000R X、Y、Z
行程:X > 1000 毫米
Y > 1000 毫米
Z > 200 毫米
方面
重量:10000 公斤(22046 磅)
寬x高x深:9.2 米 x 2.5 米 x 6.2 米
(362 英寸 x 98 英寸 x 244 英寸)
占地面積:6.5 m x 9 m
(256 x 355 英寸)
三、 IBF-1500型離子束拋光機
IBF-1500 專為納米級精確校正大光學(xué)表面,尤其是鏡子。
工件的方向是垂直的。
技術(shù)數(shù)據(jù)
工件數(shù)據(jù)
直徑: ?5 毫米 – ?1500 毫米
(?0.2'' - ?59'')
厚度:520 毫米(20.5 英寸)
重量:最大。 1000 千克(4545 磅)半徑
曲率:≥ 2250 毫米(88.5 英寸)
形狀:平面、球面、非球面、自由形狀
高速泵送系統(tǒng)
無負載鎖定,但有高速泵送系統(tǒng)
軸系
類型:1500-3 X、Y、Z、A(手動)
行程:X = 1650 毫米
Y = 1800 毫米
Z = 200 毫米
方面
重量:21300 公斤(4700 磅)
寬x高x深:7.40 米 x 7 米 x 3.95 米
(291 英寸 x 276 英寸 x 156 英寸)
占地面積:8 m x 8 m
(315 x 315'')